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不同抗弯强度硅片高温弯曲度变化的实验结果表明，众多因素对抗弯强度和高温弯曲度的影响规律是一致的，高温翘曲主与弯曲率与抗弯强度有内在联系，抗弯强度不仅表示硅片在常温下的抗破碎能力，而且也反应了高温抗翘曲和弯曲能力。
硅片高温翘曲与常温机械强度
【摘 要】
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不同抗弯强度硅片高温弯曲度变化的实验结果表明，众多因素对抗弯强度和高温弯曲度的影响规律是一致的，高温翘曲主与弯曲率与抗弯强度有内在联系，抗弯强度不仅表示硅片在常温下的
【机 构】
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中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年9期
【基金项目】
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国家教委硅材料重点实验室基金
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