【摘 要】
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项目通过氧化锌晶体基片研制、II族氧化物半导体外延薄膜的表面界面工程、外延生长与极化效应研究、杂质调控、以及新型激光微腔设计，最终实现基于II族氧化物半导体的低阈值激
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院物理研究所; 南京大学; 东南大学; 中山大学;
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项目通过氧化锌晶体基片研制、II族氧化物半导体外延薄膜的表面界面工程、外延生长与极化效应研究、杂质调控、以及新型激光微腔设计，最终实现基于II族氧化物半导体的低阈值激光器件和紫外光电探测器件。项目已经能够生长出50mm直径ZnO单晶基片，位错密度低于450/cm2，Li、K等杂质比水热法商品基片低一个数量级以上。其上外延薄膜和器件获得满意结果。基于同质、异质外延，极性、界面控制、杂质调控等研究，实现了稳定p型氧化锌薄膜以及紫外发光、激光及探测器件，部分结果达到国际领先水平，完成了项目预期目标。
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