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采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布（EEDF）及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明：ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到10^12cm^-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围（2 Pa-4 Pa）使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响