【摘 要】
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介绍了一种基于多光束原理的薄膜应力测试方法,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息。其灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速
【机 构】
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西安电子科技大学技术物理学院,西安电子科技大学技术物理学院,西安电子科技大学技术物理学院 陕西西安710071,陕西西安710071,陕西西安710071
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介绍了一种基于多光束原理的薄膜应力测试方法,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息。其灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测。
A stress measurement method based on multi-beam principle is introduced. By detecting the variation of spot spacing of reflected light, the stress information can be obtained in real time. Its sensitivity is better than 2.5 × 106 Pa, accuracy is better than 5%. The program has the advantages of simple structure, fast measuring speed and strong adaptability. Combined with the automatic control system of the computer, the scheme can be applied to the control of thin film growth process in the production line.
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