厚膜力学量传感器的发展及现状

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在整个传感器领域中,力学量传感器是应用面最广、需求量最大的品种。主要用于力、压力、加速度、液位等多种物理量的测试和转换。长期以来,国内外力学量传感器一直以电阻应变式为主,其中主要是金属箔式、硅压阻式两种。金属箔式应变计灵敏度低、应变系数仅为2,采用应变胶粘贴,易受温度、湿度等环境 In the entire field of sensors, mechanical sensors are the most widely used, the largest demand varieties. Mainly used for force, pressure, acceleration, liquid level and other physical quantities of the test and conversion. For a long time, the mechanical sensors at home and abroad have been resistance-strain-based, which is mainly metal foil, silicon piezoresistive two. Metal foil strain gauge low sensitivity, strain factor of only 2, the use of strain adhesive paste, susceptible to temperature, humidity and other environments
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