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2008年1月30日，罗门哈斯公司电子材料CMP技术事业部宣布其Vision Pad平台家族又添新品——Vision Pad 5000CMP研磨垫。这款研磨垫可用于65nm以下存储及逻辑芯片的量产，能大大降低浅沟槽隔离工艺（STI）及层间绝缘（ILD）应用的缺陷率。
罗门哈斯再推新品
【摘 要】
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2008年1月30日，罗门哈斯公司电子材料CMP技术事业部宣布其Vision Pad平台家族又添新品——Vision Pad 5000CMP研磨垫。这款研磨垫可用于65nm以下存储及逻辑芯片的量产，能大大降
【出 处】
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CAD/CAM与制造业信息化
【发表日期】
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2008年2期
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