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自支撑薄膜的制备在核科学研究中至关重要。自支撑薄膜制备技术包括成膜技术和剥离技术。自支撑薄膜的成膜技术与普通有衬薄膜的相似,区别仅在于对薄膜剥离。本工作对自支撑薄膜的剥离技术进行了较为系统的研究,并在实践中比较分析各种脱膜方法及脱膜剂的优缺点。
自支撑薄膜剥离技术研究
【摘 要】
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自支撑薄膜的制备在核科学研究中至关重要。自支撑薄膜制备技术包括成膜技术和剥离技术。自支撑薄膜的成膜技术与普通有衬薄膜的相似,区别仅在于对薄膜剥离。本工作对自支撑
【机 构】
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中国原子能科学研究院核物理研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2008年10期
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