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基于反射法理论提出了一种使用矢量网络分析仪测量集总参数元件阻抗的方法,引入阻抗匹配电路,拓宽了矢量网络分析仪的阻抗测量范围。通过对匹配电路二端口网络模型中参量A的分析,给出相应的被测元件的阻抗计算式,消除了夹具对测量结果的影响。采用矢量网络分析仪直接测量法和该阻抗测量法分别测量了5种不同阻值的金属膜电阻,结果表明,该阻抗测量方法的测量精度高于矢量网络分析仪直接测量的精度,可在30kHz-100MHz频率范围内实现几欧至千欧阻抗的精确测量。