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建立旋转式MEMS/NEMS（micro-or nano-electro-mechanical system）致动器的单自由度力学模型，研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响。得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线，并对临界电压进行修正。研究没有外加电压引起的静电力作用时，旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象，给出致动器的失稳准则，以及失稳时致动器的临界特征几何尺度。