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本文介绍了硅片厚度和翘曲度的测量方法,提出一种非接触式的自动检测系统,该系统利用电容测微原理,设计出一套全自动硅片传输方案,并最终实现硅片厚度和翘曲度的自动检测。
一种非接触式硅片厚度及翘曲度自动检测系统
【摘 要】
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本文介绍了硅片厚度和翘曲度的测量方法,提出一种非接触式的自动检测系统,该系统利用电容测微原理,设计出一套全自动硅片传输方案,并最终实现硅片厚度和翘曲度的自动检测。
【机 构】
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台州市计量技术研究院
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2016年6期
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