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氮化铝陶瓷金属化技术的探讨
氮化铝陶瓷金属化技术的探讨
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:secretcode
【摘 要】
:
本文对目前常用的电子陶瓷(例如,氮化铝陶瓷、氧化铍陶瓷、氧化铝陶瓷)的性能和金属化技术进行了初步的比较,提出了氮化铝陶瓷要加强其应用研究,特别是要进一步提高其Mo-Mn法
【作 者】
:
高陇桥
崔高鹏
刘征
【机 构】
:
北京真空电子技术研究所
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2020年1期
【关键词】
:
电子陶瓷
陶瓷金属化
陶瓷敷铜板直接结合
Electronic ceramicCeramic metallizingDirect bonding copper
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本文对目前常用的电子陶瓷(例如,氮化铝陶瓷、氧化铍陶瓷、氧化铝陶瓷)的性能和金属化技术进行了初步的比较,提出了氮化铝陶瓷要加强其应用研究,特别是要进一步提高其Mo-Mn法封接强度,论述了氧化铍陶瓷比氮化铝陶瓷DBC技术上的某些优势。
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