微装配技术的发展现状及关键技术

来源 :2004第四届精密工程学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gn8888

【摘要】

：

微机械电子技术的快速发展及其系统结构的日趋复杂,促进了微机电系统中微装配技术的日益蓬勃发展.因此对微装配和微操作的研究日益引起国内外研究人员的重视.本文详细地综述了近年来微装配技术的国内外发展现状以及其发展过程中面临的一些关键技术,包括微装配机理、显微视觉技术、微夹持器、微驱动技术等,最后对微装配的发展进行了展望.

【作者】

：

段瑞玲李庆祥李玉和

【机构】

：

清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084

【出处】

：

2004第四届精密工程学术研讨会

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

微机电系统微装配微夹持器显微视觉

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