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阐述了一种用于工件表面沉积金属铼材料的化学气相沉积(CVD)设备,该设备由前驱体升华及输送系统、反应热解区、氯化物再生及冷凝收集区、真空及尾气处理系统组成,可用于铼/铱发动机燃烧室喷管中铼基材的制备,可有效减少氯气排放,并防止铼在工件表面以外区域的沉积。
用于沉积金属铼的化学气相沉积设备研制
【摘 要】
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阐述了一种用于工件表面沉积金属铼材料的化学气相沉积(CVD)设备,该设备由前驱体升华及输送系统、反应热解区、氯化物再生及冷凝收集区、真空及尾气处理系统组成,可用于铼/铱
【机 构】
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季华科技有限公司,广东众元半导体科技有限公司
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2021年2期
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