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MEB法生长纳米结构Si／GeSi

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：binsheng

【作 者】

：

一凡 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1996年6期

【关键词】

：

半导体 MBE法 纳米结构 Si/GeSi 

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