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二氧化锡薄膜应用广泛。本文讨论掺锑和掺氟的二氧化锡透明导电薄膜的最佳掺杂含量问题，建立模型并给出理论表达式，得出的最佳掺杂含量值与实验数据相符。
二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式
【摘 要】
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二氧化锡薄膜应用广泛。本文讨论掺锑和掺氟的二氧化锡透明导电薄膜的最佳掺杂含量问题，建立模型并给出理论表达式，得出的最佳掺杂含量值与实验数据相符。
【机 构】
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河北工业大学应用物理系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2001年2期
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