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论述了超声波微电机的工作原理，给出了其振动模式和组合，分析了行波式超声波微电机定子表面的椭圆运动轨迹，给出了一些性能测试曲线，论述了超声波微电机的一些特点，并介绍了它的一些实际应用。
超声波微电机的原理和应用
【摘 要】
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论述了超声波微电机的工作原理，给出了其振动模式和组合，分析了行波式超声波微电机定子表面的椭圆运动轨迹，给出了一些性能测试曲线，论述了超声波微电机的一些特点，并介绍了它的一
【机 构】
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天津大学精密仪器学院
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1997年9期
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