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采用树脂结合剂的金剐石砂轮，对纳米氧化锫增韧氧化铝复合陶瓷（纳米ZTA陶瓷）与普通纯Al2O3陶瓷进行了超声磨削对比试验，对磨削加工表面显微形貌进行了SEM观察，探讨了该材料超声磨削加工机理及主要磨削参数对磨削力的影响。研究结果表明：对纳米ZTA陶瓷采用超声振动磨削可以获得较高的表面质量和加工效率，因而是比较理想的加工方式。