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【摘 要】
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为了解工艺对多层涂层性能的影响,针对偏置电压对涂层中残余应力以及其相应摩擦性能的影响进行了研究,并通过更改工艺参数来制备优良的涂层系统并调整其残余应力。通过磁控溅
【机 构】
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多特蒙德工业大学材料工程学院
【出 处】
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中国表面工程
【发表日期】
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2013年3期
【基金项目】
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德国合作研究中心项目（SFB ＂Transregio 30＂ TP A4＆Ti 343/34-1）
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