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为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响,采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制.利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号,提高了控制系统的鲁棒性.通过计算机仿真,验证了所设计的微定位工作台的特性和闭环控制算法的有效性.
微定位工作台的非线性PID控制
【摘 要】
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为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响,采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制.利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号,提高了控制
【机 构】
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天津工程师范学院机械工程系,天津大学机械工程学院
【出 处】
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天津职业技术师范学院学报
【发表日期】
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2004年3期
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