【摘 要】
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No.1（Total No.152） Optical Microlithography with Phase-Shifting Mask and Optical Proximity Effect Correction………………………………… …………………………………
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No.1（Total No.152） Optical Microlithography with Phase-Shifting Mask and Optical Proximity Effect Correction………………………………… ………………………………………………FENG Bo-ru, ZHANG Jin, HOU De-sheng, ZHOU Chong-xi, SU Ping (1) Spherical Coordin
No.1 (Total No.152) Optical Microlithography with Phase-Shifting Mask and Optical Proximity Effect Correction ................................................................................................ ... FENG Bo-ru, ZHANG Jin, HOU De-sheng, ZHOU Chong-xi, SU Ping (1) Spherical Coordin
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