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采用ＣＨ４／ＣＦ４混合气体等离子体来处理ＰＥＴ表面，利用变角ＸＰＳ改性后ＰＥＴ的表面改性层的组分随取样深度的变化。结果表明，碳氟混合气体等离子体在ＰＥＴ表面形成交联网络结构的改性层，改性层的化学组成随深度的变化不大；纯ＣＦ４等防子体的改性层的化学组成不均匀，含氟基团主要分布在外面，不同混合气体等离子体在ＰＥＴ表面形成改性层的结构决策于ＣＨ４的添加量。