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本文介绍传感器微机械加工中使用的各向异性腐蚀的计算机模拟。
传感器的微机械加工中各向异性腐蚀过程的计算机模拟
【摘 要】
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本文介绍传感器微机械加工中使用的各向异性腐蚀的计算机模拟。
【机 构】
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河北工业大学电气信息学院
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2000年1期
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