论文部分内容阅读
引信可以利用空中目标运动产生的静电场信息对目标进行探测，而MEMS的特殊性能非常适合于引信静电探测器的设计。在引信有限的体积内布设MEMS静电探测阵列，通过对目标静电场信息进行检测，可以获得目标的位置和速度信息。本文运用表面加工工艺设计了一种MEMS薄膜电极的垂直振动式电场传感器阵列。介绍了该电场传感器探测单元及阵列的结构、组成及工作原理，说明了该器件的加工工艺。通过MEMS静电探测单元的空间布阵，研究了引信MEMS静电探测阵列对目标定位的原理，推导了目标定位的公式，使用MEMS静电探测阵列探测了目标的静