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从叶轮式微流量传感器的结构及工作原理出发，设计了该传感器的电容检测电路．该电路由振荡电路和数字鉴频等单元电路构成，通过PSPICE仿真，实际搭制及调试，实现了检测电路的功能．
叶轮式流量传感器检测电路的设计与调试
【摘 要】
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从叶轮式微流量传感器的结构及工作原理出发，设计了该传感器的电容检测电路．该电路由振荡电路和数字鉴频等单元电路构成，通过PSPICE仿真，实际搭制及调试，实现了检测电路的功能．
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
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