高纯、高度[100]择优取向金刚石薄膜

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：l00ok100

【摘要】

：

采用独特的形核-刻蚀-生长-刻蚀-生长…循环沉积工艺，用微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）法制备出了高纯、高度[100]择优取向的金刚石薄膜。SEM和XRD分析表明得到的膜材具有很

【作者】

：

王兵梅军丰杰李建国

【机构】

：

西南科技大学材料学院,中国工程物理研究院结构力学研究所

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2007年A01期

【关键词】

：

金刚石薄膜择优取向电阻率 diamond film preferential orientation resistivity

【基金项目】

：

中国工程物理研究院重大基金资助

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用独特的形核-刻蚀-生长-刻蚀-生长…循环沉积工艺，用微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）法制备出了高纯、高度[100]择优取向的金刚石薄膜。SEM和XRD分析表明得到的膜材具有很高的[100]择优取向性；Raman光谱和SEM对照分析证实膜材的金刚石相组成纯净度高，是高纯、高度[100]择优取向的织构金刚石薄膜。暗电流Ⅰ-Ⅴ特性测试结果表明，这种薄膜的电阻率达到10H数量级以上，比常规工艺制备的膜高近两个数量级，是一种性能优良的电子薄膜材料。理论分析表明，薄膜电阻率大幅度提高的原因在于膜层中非金刚

其他文献

金属相含量对TiCN基金属陶瓷显微硬度的影响

对不同金属含量(5种,Mo:Ni为2:1)的TiCN基金属陶瓷进行显微硬度测试,加载范围从0.49 N～9.8 N,每个试样的显微硬度数值体现出压痕尺寸效应(ISE).从能量平衡角度对ISE作出理论解

期刊

显微硬度压痕尺寸效应TiCN基金属陶瓷金属相microhardnessindentation size effectTiCN-based cerme

模式识别在BaFe12O19／SiO2微晶玻璃陶瓷合成中的应用

采用柠檬酸sol-gel工艺制备了BaFe12O19/SiO2微晶玻璃陶瓷.结果表明,当体系中SiO2的含量为50 mol%,67 mol%,Fe/Ba处于5(1(7(1,热处理温度在1 000℃(1 100℃时可以得到单一BaF

期刊

BaFe12O19/SiO2微晶玻璃陶瓷SOL-GEL模式识别模式逆映照BaFe12O19/SiO2 microcrystallite glass

碳化硅基粉体在硅溶胶中的分散行为

利用ξ电位、粘度、流变学测试等研究了碳化硅基粉体在硅溶胶中的分散行为.发现在pH=10左右,硅溶胶分散的陶瓷粉体具有绝对值最大的Zeta电位和最低的粘度,表明碳化硅等陶瓷粉

期刊

碳化硅硅溶胶分散流变学

电泳法制备二氧化钛光催化薄膜

研究了TiO2粉末在不同溶剂中的分散性，在几种常见溶剂中正丁醇悬浮液稳定性最好。使用正丁醇作为电泳的有机溶剂进行电泳成膜，分别改变电压、时间、浓度和添加PEG（聚乙二醇）以考

期刊

电泳法PEGTIO2薄膜光催化electrophoretic deposition titania film photocatalysis

热处理对1种新型亚稳定β钛合金组织与性能的影响

研究了1种新型的亚稳定β钛合金(Ti-B20)在不同热处理制度下的显微组织与拉伸和冲击性能.结果表明,热处理制度的改变能显著影响该合金的显微组织和强化行为.固溶温度是影响合

期刊

亚稳Β钛合金热处理显微组织拉伸和冲击性能metastable beta titanium alloy heat treatment microst

Mn掺杂BaTi4O9微波介质陶瓷的远红外光谱研究

研究了So1-Gel法制备的Mn掺杂BaTi4O9微波介质陶瓷的远红外光谱.随着掺杂量的增大,弱反射峰从364cm-1位移到381cm-1,296cm-1处的反射峰有加强的趋势.由远红外反射谱的Kramers

期刊

介质陶瓷SOL-GEL红外光谱介电性能

高纯、高度[100]择优取向金刚石薄膜

其他学术论文