采用静止光学头和移动五棱镜的长轨轮廓仪

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【摘要】

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<正> 1.引言同步辐射学术界把术语“rms倾斜误差”看作是对反射镜表面面形误差定量表示的一个很重要的参量。新型同步辐射光源为了保持高亮度的光束质量.要求rms(均方根)表

【作者】

：

金友

【出处】

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光机电信息

【发表日期】

：

1998年12期

【关键词】

：

同步辐射长轨轮廓仪静止光学头移动五棱镜

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<正> 1.引言同步辐射学术界把术语“rms倾斜误差”看作是对反射镜表面面形误差定量表示的一个很重要的参量。新型同步辐射光源为了保持高亮度的光束质量.要求rms(均方根)表面倾斜误差不超过0.2arcsec(1μrad),为了说明这个允差的大小,举一个直径35mm的平面反射镜变形呈球形为例,其变形量只能有λ/40(峰至

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