论文部分内容阅读
分析研究了一些缺陷对InP单晶衬底的影响，包括团状结构位错的产生及其对晶格完整性的影响，坑状微缺陷、晶片抛光损伤和残留杂质的清洗腐蚀等．对这些缺陷的形成原因和抑制途径进行了分析．在此基础上获得了“开盒即用（EPI-READY）”、具有良好晶格完整性、表面无损伤的InP单晶衬底抛光片．
磷化铟单晶衬底的缺陷控制和高质量表面制备
【摘 要】
：
分析研究了一些缺陷对InP单晶衬底的影响，包括团状结构位错的产生及其对晶格完整性的影响，坑状微缺陷、晶片抛光损伤和残留杂质的清洗腐蚀等．对这些缺陷的形成原因和抑制途径进
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2006年12期
其他文献
通过对公交优先通行方案的定量化评价,可避免实施公交优先通行措施的决策失误.对交叉口公交优先通行方案的评价指标体系和评价方法进行讨论,介绍在备选指标集中筛选指标的方
中小企业在我国的经济发展中占据着重要的地位,其不仅在数量上达到全国企业总数的99%以上,而且在促进经济增长、解决劳动力就业、科技创新等方面,也发挥着不容忽视的作用。然
文章构建由单个零售商和单个制造商组成的二级供应链,在供应链管理中引入企业社会责任,分别探讨分散决策、集中决策、成本分担契约和两部制契约下的供应链决策和协调,最后进
对InP晶片的化学腐蚀特性进行了分析,研究了酸性腐蚀液(盐酸系列腐蚀液)的配比、腐蚀液温度等工艺条件对InP晶片腐蚀速率、表面腐蚀形貌和化学腐蚀片表面粗糙度的影响。研究
近年来,常州市水稻生产加快转变发展方式,大力推进种植业结构调整,优质稻米产业发展受到高度重视,在品种选育推广、科技化发展、专业化服务、产业化经营、品牌化创建等方面成
对于阅读教学,多数教师通常会在"教什么""怎么教"上下更多的功夫,却很少有人思考学生"学得怎么样"。正是这种对教学效果的忽视,才更容易导致教了又教、讲了还会错的重复低效
提出了一种基于测井数据和叠前地震反演参数的流体饱和度定量预测方法——孔隙体积模量法。该方法基于Gassmann方程,在假设已经对岩性进行了可靠的定性预测,并较准确地计算了
具有精确、稳定的定位结果以及合理的价格是未来的智能车辆导航系统的发展趋势。为了达到这个目标，人们建立了多种组合导航模型（GNSS/DR，GNSS/INS，GNSS/MM）。尽管这些模型已在多种