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对应用于半导体封装设备金丝球邦定机的高速高精度直线电机XY平台进行了控制器设计。设计目标是高速高精度响应，以及在外界干扰和参数不确定性因素影响下的鲁棒性。通过对PI控制器、PDF控制器和PDFF控制器的性能比较，系统选择PDFF控制器作为速度环的控制器，PID控制器作为位置环控制器的双环控制架构。根据降阶的系统模型利用基本CRS算法对控制器各个参数进行优化。仿真和实验结果证明，该控制方案具有良好的响应性能和鲁棒性，加速度可以达到5g，调整时间为4ms以内。