【摘 要】
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设计并实现了一种涵盖400-950nm的全自动CCD器件相对光谱响应测试仪。分析了成像器件的相对光谱响应测试原理，采用宽光谱、高灵敏度响应的科学级光纤光谱仪QE65000作为参考探
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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设计并实现了一种涵盖400-950nm的全自动CCD器件相对光谱响应测试仪。分析了成像器件的相对光谱响应测试原理，采用宽光谱、高灵敏度响应的科学级光纤光谱仪QE65000作为参考探测器，基于单光路直接比较法，构建了CCD器件相对光谱响应测试仪器。该装置可全自动完成CCD器件的相对光谱响应测量，不确定度分析结果表明，该装置对CCD器件开展相对光谱响应测试的最大不确定度为6．21%，满足应用需求，可为CCD等图像传感器甄选、参数性能评价及后续整机测试提供关键数据支撑。
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