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为了提高基于非接触法的相对介电常数测量的准确性,利用电场有限元分析建立对应的模型并获得了电极及其附近的电场和电位分布。分析了电极系统存在的边缘效应,给出了其对相对介电常数测量结果的影响。分析了潜在因素对非接触法测量误差的影响,确定了修正时需要考虑的因素为电极间隙距离、试样厚度与电极间隙距离之比和试样的相对介电常数。根据电极间隙距离、距离比、相对介电常数测量值到相对介电常数真实值的关系,采用三维插值法和匹配法修正测得的相对介电常数。采用仿真对修正方法进行了验证并针对实测高温硫化硅橡胶相对介电常数使用了该方法