【摘 要】
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搭建基于超小GRIN光纤探头的F-P干涉仪测振的实验系统,采用高精度纳米位移台作为被测振动体目标,在解析基于超小GRIN光纤探头的集成化F-P干涉仪工作性能的基础上,对被测振动体的微小振动进行多次实验测量,采集实验测量数据并分析该集成化F-P干涉仪的实验性能。实验结果显示,在给定实验条件下,该F-P光纤干涉仪在振幅为200~300 nm时的性能参数较好,线性度最小为0.42%,对应的灵敏度为7.507 V/μm,重复性标准差最大为0.232 V;在10~100 nm与350~500 nm,干涉仪测振系统有
【机 构】
：
上海大学精密机械工程系,近地面探测技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61773249,No.41704123),近地面探测技术重点实验室基金资助项目(No.TCGZ2020C003),上海市科技创新行动计划资助项目(No.20142200100)。
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搭建基于超小GRIN光纤探头的F-P干涉仪测振的实验系统,采用高精度纳米位移台作为被测振动体目标,在解析基于超小GRIN光纤探头的集成化F-P干涉仪工作性能的基础上,对被测振动体的微小振动进行多次实验测量,采集实验测量数据并分析该集成化F-P干涉仪的实验性能。实验结果显示,在给定实验条件下,该F-P光纤干涉仪在振幅为200~300 nm时的性能参数较好,线性度最小为0.42%,对应的灵敏度为7.507 V/μm,重复性标准差最大为0.232 V;在10~100 nm与350~500 nm,干涉仪测振系统有
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