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期刊论文
微小压力和微小流量的准确测量
微小压力和微小流量的准确测量
来源 :测试技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinyang101
【摘 要】
:
在防护行业的产品检测中,要求对微小压力和微小流量进行准确测量。而现行的测量手段是较为落后的,特别是对微小流量的测量。本文介绍一种用半导体扩散硅压力传感器和单片计算
【作 者】
:
刘万英
王悦义
王成纯
李秉崇
元以栋
【机 构】
:
新华化工厂,新华化工厂
【出 处】
:
测试技术学报
【发表日期】
:
1994年S1期
【关键词】
:
微小流量
扩散硅压力传感器
准确测量
气体流量计
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在防护行业的产品检测中,要求对微小压力和微小流量进行准确测量。而现行的测量手段是较为落后的,特别是对微小流量的测量。本文介绍一种用半导体扩散硅压力传感器和单片计算机技术实现的对微小压力和微小流量进行准确测量的一种先进的规量方法。
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