【摘 要】
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研制成功离子渗氮及等离子热处理用ＩＧＢＴ逆变型脉冲电源。本文介绍了其原理、关键技术、主要技术指标、特点及应用情况。该电源频率高，灭弧速度快，能显著减弱或抑制空心阴极效应，节约
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研制成功离子渗氮及等离子热处理用ＩＧＢＴ逆变型脉冲电源。本文介绍了其原理、关键技术、主要技术指标、特点及应用情况。该电源频率高，灭弧速度快，能显著减弱或抑制空心阴极效应，节约电能，并可提高等离子增强化学气相沉积（ＰＣＶＤ）涂层的质量。
Developed ion nitriding and plasma heat treatment with IGBT inverter pulse power. This paper introduces its principle, key technologies, main technical indicators, characteristics and applications. The high power frequency, fast arc extinction, can significantly reduce or inhibit the hollow cathode effect, saving energy, and can improve the quality of plasma enhanced chemical vapor deposition (PCVD) coating.
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