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采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tintin123456

【摘 要】

：

开发了用于实验室的ＥＵＶ（５０～７０ｅＶ０波牟Ｆａｒａｄａｙ旋光测量装置。其中光源采用了激光等离子体光源。起偏器检偏器均采用了入射角为准Ｂｒｅｗｓｔｅｒ角的反射式ＡＩ／ＨＢ６多层膜，利用块Ｓｍ－Ｃ０永久磁铁在波测样品处生成了０．８２Ｔ的磁场。对强磁

【作 者】

：

胡卫兵 羽多野忠 

【机 构】

：

中国科学院长春光学精密机械研究所,日本东北大学科学计测研究所

【出 处】

：

光学仪器

【发表日期】

：

1999年4期

【关键词】

：

多层膜 偏光器 旋光测量装置 EUV Multilayer Faradayrotation Polarizer. 

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开发了用于实验室的ＥＵＶ（５０～７０ｅＶ０波牟Ｆａｒａｄａｙ旋光测量装置。其中光源采用了激光等离子体光源。起偏器检偏器均采用了入射角为准Ｂｒｅｗｓｔｅｒ角的反射式ＡＩ／ＨＢ６多层膜，利用块Ｓｍ－Ｃ０永久磁铁在波测样品处生成了０．８２Ｔ的磁场。对强磁材料ＮＩ和Ｍ２，３吸收端进行了Ｆａｒａｄａｙ旋光测量，测量结果在６５．３ｅＶ处为－２．７０°／２１ｎｍ。该结果与我们在同步辐射光源上测量的结果相符合。这

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