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电极损耗是影响微细电火花仿铣加工精度的重要因素，研究内容主要包括电极损耗的检测技术和电极损耗的在线补偿方式。准确的电极损耗检测是正确进行电极补偿的基础。作者基于空间矩亚像素定位算法，将微细电火花仿铣加工用微细电极边缘定位到亚像素精度，然后根据单个像素的亚像素边缘信息来计算微细电极的直径，经过试验，该方法不但计算速度快，而且其在线检测精度达到了1μm。