UFPA探测单元的热学分析

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fanrongcheng

【摘要】

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用有限元方法对非致冷红外焦平面阵列(UFPA)的探测单元进行了有限元热分析,分析结果表明,微桥的结构可以显著地影响探测单元的热学性能,而且还得到了钛酸锶钡(BST)薄膜与红外

【作者】

：

张五星钟志有尹盛刘陈王长安邹雪城

【机构】

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华中科技大学

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

有限元非致冷红外焦平面阵列铁电薄膜钛酸锶钡 FEA UFPA ferroelectric thin film BST

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用有限元方法对非致冷红外焦平面阵列(UFPA)的探测单元进行了有限元热分析,分析结果表明,微桥的结构可以显著地影响探测单元的热学性能,而且还得到了钛酸锶钡(BST)薄膜与红外辐射强度之间的线性关系、热饱和时间以及降温过程.利用得到的结果对探测单元尺寸进行了优化,制备出介电量热型UFPA探测单元,并分析了输出信号比期望值小的原因.

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