氧碳对太阳能级直拉单晶硅品质影响初探

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氧和碳作为太阳能级直拉单晶硅的非金属杂质,在晶体中可形成微缺陷,影响晶体的电阻率,造成后期制作的太阳能电池性能不稳定。本文主要对太阳能级直拉单晶硅生产制备过程中氧碳杂质的形成原因及其对太阳能级直拉单晶硅品质造成的影响进行分析研究,并提出了一些在实际生产中控制氧碳含量的办法。
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