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利用高效能超音速等离子喷涂（HEPS）、爆炸喷涂（DGS）和高速电弧喷涂（HVAS）三种热喷涂技术制备了不同厚度的Fe-Cr-B-Si和Fe-Cr-B-Si—Mo涂层，利用X射线应力测定仪测定了涂层表面残余应力，并得出表面残余应力与涂层厚度的关系曲线，进一步采用电解剥层法＋X射线应力测定法研究了涂层应力沿厚度方向的分布曲线，并采用纳米压痕仪和扫描电镜等分析了应力与涂层显微特征的对应关系。结果表明：涂层表层的残余应力主要受喷涂材料、喷涂方法和工艺参数等影响，与涂层的显微特性有对应关系，而与涂层本身的厚度没有