【摘 要】
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本文利用XRD、RBS、AES、SEM和电学测量技术系统地研究了反应溅射制备的TiW_yN_x薄膜的组份、结构和扩散势垒特性,实验结果表明,膜的组份、结构和特性受溅射时N_2流量影响和
【机 构】
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北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,Sputtered Films Incorporated,USA,Sputter
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本文利用XRD、RBS、AES、SEM和电学测量技术系统地研究了反应溅射制备的TiW_yN_x薄膜的组份、结构和扩散势垒特性,实验结果表明,膜的组份、结构和特性受溅射时N_2流量影响和溅射功率的影响,这种TiW_yN_x膜经550℃30分钟退火后,仍能有效防止Al-Si扩散,从而改善了Al/TiW_yN_x/CoSi_2/Si浅结接触的热稳定性。
In this paper, the composition, structure and diffusion barrier of TiW_yN_x thin films prepared by reactive sputtering were studied systematically by XRD, RBS, AES, SEM and electrical measurement. The experimental results show that the composition, structure and properties of the films are affected by sputtering N_2 flux and sputtering power. The TiW_yN_x film annealed at 550 ℃ for 30 minutes can effectively prevent Al-Si diffusion and improve the thermal stability of the Al / TiW_yN_x / CoSi_2 / Si super-junction.
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