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为提高微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的面积和沉积速度，我们成功研制了５ＫＷ水冷不锈钢反应腔式ＭＰ－ＣＶＤ装置。本文主要给出微波模式转换器中微波模式分布的理论假设，实验测定和推导。结论；矩形的波导中的ＴＥ１０模式或转变为同轴线中的ＴＥＭ模式，再由ＴＥＭ模式转变为圆柱形波导中的ＴＭ０１模式。
微波等离子体CVD装置中的微波模式转换器的模式研究
【摘 要】
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为提高微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的面积和沉积速度，我们成功研制了５ＫＷ水冷不锈钢反应腔式ＭＰ－ＣＶＤ装置。本文主要给出微波模式转换器中微波模式分布的理论假设，实验测定和推导。结
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1997年5期
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