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湿环境中低温退火能改善SiO2／Si界面

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiangdi

【作 者】

：

褚连青 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1995年11期

【关键词】

：

低温 退火 SIO2/SI 半导体 界面 

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