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<正> 筒镜分析器(CMA)是俄歇电子能谱(AES)装置或AES同X射线光电子能谱(XPS或称ESCA)联合装置的关键部件。本文以ESCA/SAM550电子能谱仪中由于CMA故障,造成仪器没有AES和ESCA信号响应为例,介绍一种基本故障分析方法以及CMA和同轴电子枪等部件的维修保养经验。
电子能谱仪中筒镜分析器及其相关部件的维修
【摘 要】
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<正> 筒镜分析器(CMA)是俄歇电子能谱(AES)装置或AES同X射线光电子能谱(XPS或称ESCA)联合装置的关键部件。本文以ESCA/SAM550电子能谱仪中由于CMA故障,造成仪器没有AES和ESCA
【机 构】
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上海市测试技术研究所
【出 处】
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分析测试通报
【发表日期】
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1989年1期
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