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运用极化曲线、微分极化曲线、循环极化和恒电位暂态等方法研究了缓蚀剂阳极脱附的动力学行为，结果表明：缓蚀剂阳极脱附存在一个明显的诱导期，具有“S”型的脱附动力学曲线，呈自催化反应特征；外加电位越正，缓蚀剂脱附速度越快，脱附的诱导期越短；覆盖度高的稳定吸附层，脱附电位更正，脱附速度也更快.据此提出了缓蚀剂的阳极脱附是由于阳极极化条件下电极过程吸附态中间产物的竞争吸附使得缓蚀剂发生自加速脱附的新机制.