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采用化学气相沉积技术在四种不同沉积温度下制备了铝化物涂层，采用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱仪研究了不同沉积温度下涂层的相结构、微观形貌和成分。结果表明，涂层的相结构、微观形貌和成分受沉积温度的影响明显。沉积温度越高，涂层越趋于形成均质的β-NiAI相，涂层表面多边形网格状形貌越均匀，网格内晶粒生长越密实。扩散区内富集大量的铬、钼和钨元素，其相应的析出物会形成扩散障碍层。