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不久前,Novellus System的CEO Rick Hill拜访了韩国海力士半导体的M11 fab,他惊讶于该fab的巨大规模,同时也很满意地得知八十亿美元的设备采购预算。在未来几年内,将会兴建几个生产规模达到每月150，000～200，000片晶圆（wspm）的fab，主要针对NAND型闪存在固态硬盘（SSD）领域潜在的巨大市场。Hynix Mll fab为两层200米×80米的厂房，计划产能为300，000 wspm。