【摘 要】
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介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式,探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测,重点对变形技术进行了数学分析,并给出了实验结果。根据实验结果分析了面形误差产生的原因,讨论
【机 构】
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中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 南京 210042,南京
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介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式,探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测,重点对变形技术进行了数学分析,并给出了实验结果。根据实验结果分析了面形误差产生的原因,讨论了主动抛光盘的动态响应和校正,给出了直径910mm,焦比为F/2的实验镜面磨制结果。
The mechanical structure and basic movement mode of the polishing disc are introduced. The control system and surface inspection of the active polishing disc are discussed. The deformation technology is analyzed emphatically and the experimental results are given. According to the experimental results, the reason of surface error was analyzed. The dynamic response and correction of the active polishing disc were discussed. The result of experiment mirror grinding with the diameter of 910mm and the coke ratio F / 2 was given.
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