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用溶胶-凝胶法在不同衬底上制备了新的钽酸锂薄膜；研究了环氧树脂掺杂、甩胶转速、衬底效应、热处理温度和气氛等薄膜制备工艺条件对薄膜晶向、表面形貌和介电特性的影响。结果表明：当溶胶浓度为0．1mol／L，转速为3000r／min，能制备出均匀、平整、无裂纹的薄膜；控制掺杂环氧树脂在5％左右（质量分数），能提高薄膜与衬底的黏附性；薄膜在氧气气氛下结晶退火，比在氮气气氛下具有更小的介质损耗；n型Si、P型Si和SiO2衬底上钽酸锂薄膜在[012]晶向上具有择优取向性，而Pt衬底上薄膜在[110]、[116]上具有