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本文用ＳＥＭ研究了一系列ＺｒＯ２增韧ＡＴ３０金属陶瓷（也称ＡＴ３０Ｚ），在不同冲蚀速率及冲蚀角组合条件下的冲蚀形貌及流失机制；结果表明：随垂直入射动能增大，材料表面相继出现应力疲劳→晶粒剥离→应变疲劳及高度铲削的冲蚀机制的过渡变换，各机制的法向速度门槛值Ｖａ、Ｖｂ和Ｖｃ与靶材的断裂韧性Ｋｃ等靶材性质有关，而与冲率及冲蚀角无关。本文建立了冲蚀速度座标系，以综合分析冲蚀速率及冲蚀角对冲蚀的影响，分析结