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利用自行研制的实验装置深入研究了不同工艺条件下制备的MgO薄膜的抗溅射性能,为优化用于PDP的MgO膜的制备工艺提供了科学依据.
彩色PDP用MgO膜的抗溅射性能研究
【摘 要】
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利用自行研制的实验装置深入研究了不同工艺条件下制备的MgO薄膜的抗溅射性能,为优化用于PDP的MgO膜的制备工艺提供了科学依据.
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2001年6期
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