【摘 要】
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为更好实现可穿戴柔性电子的初期设计和试验验证,提出了一种基于“切割和粘贴”的柔性电子快速制备方法。首先,通过对比光刻工艺与喷墨打印工艺,提出了一种基于激光切割的微
【机 构】
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中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,中国科学技术大学,宾夕法尼亚州立大学
【基金项目】
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江苏省科技计划重点项目资助(No.BE2016010-4),吉林省与中国科学院科技合作高新技术产业化专项资金资助项目(No.2018SYHZ0022),苏州市科技计划重点产业技术创新前瞻性应用研究项目资助(No.SYG201824).
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为更好实现可穿戴柔性电子的初期设计和试验验证,提出了一种基于“切割和粘贴”的柔性电子快速制备方法。首先,通过对比光刻工艺与喷墨打印工艺,提出了一种基于激光切割的微纳图案化工艺;接着,利用调节聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体的黏附力来控制能量释放率,将带图案的薄膜结构转印到弹性基底;然后,为保证金属电极与柔性基体间紧密贴合,采用PDMS对整体结构进行了封装;最后,搭建了多通道生理信号采集系统,对所加工柔性电极进行电生理测试与医疗探索。实验结果表明:与传统柔性电子加工工艺相比,文章提出的工艺效率较高,成本较低,
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